[發明專利]同一半導體芯片不同周期全息光柵的制作方法無效
| 申請號： | 200410088728.0 | 申請日： | 2004-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN1770014A | 公開（公告）日： | 2006-05-10 |
| 發明（設計）人： | 謝紅云;王圩;王寶軍;周帆 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00;G03H1/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 同一 半導體 芯片 不同 周期 全息 光柵 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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