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[發明專利]導電和絕緣準氮化鎵基生長襯底及其低成本的生產技術和工藝有效

專利信息
申請號: 200410086564.8 申請日: 2004-10-26
公開(公告)號: CN1617363A 公開(公告)日: 2005-05-18
發明(設計)人: 彭暉;彭剛;羅威 申請(專利權)人: 金芃
主分類號: H01L33/00 分類號: H01L33/00;H01L21/20
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 100871北京市海*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 導電 絕緣 氮化 生長 襯底 及其 低成本 生產技術 工藝
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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