[發明專利]采用光刻和干刻制造碳納米管多層圖案的方法無效
| 申請號： | 200410085905.X | 申請日： | 2004-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN1673870A | 公開（公告）日： | 2005-09-28 |
| 發明（設計）人： | 鄭喜臺;金道鉉;崔度桓;鄭大煥;李在信 | 申請（專利權）人： | 韓國科學技術院 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/26;C01B31/02 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 高龍鑫;鄧鍵梁 |
| 地址： | 韓國大*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 光刻 刻制 納米 多層 圖案 方法 | ||
【權利要求書】：
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