[發明專利]硫系相變材料化學機械拋光的無磨料拋光液及其應用有效
| 申請號： | 200410084490.4 | 申請日： | 2004-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN1632023A | 公開（公告）日： | 2005-06-29 |
| 發明（設計）人： | 張楷亮;宋志棠;封松林;陳邦明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C09G1/18 | 分類號： | C09G1/18 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 相變 材料 化學 機械拋光 磨料 拋光 及其 應用 | ||
【說明書】：
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