[發明專利]在γ－LiAlO2襯底上制備ZnO單晶薄膜的方法無效
| 申請號： | 200410084404.X | 申請日： | 2004-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN1635191A | 公開（公告）日： | 2005-07-06 |
| 發明（設計）人： | 鄒軍;周圣明;徐軍;夏長泰;蘇鳳蓮;李抒智;彭觀良;王銀珍;劉世良 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | C30B23/02 | 分類號： | C30B23/02;C30B29/16;H01L21/203 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | lialo sub 襯底 制備 zno 薄膜 方法 | ||
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