[發明專利]多晶硅薄膜晶體管離子感測裝置與制作方法有效
| 申請號： | 200410083862.1 | 申請日： | 2004-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN1763517A | 公開（公告）日： | 2006-04-26 |
| 發明（設計）人： | 吳永富;蔡子萱 | 申請（專利權）人： | 財團法人工業技術研究院 |
| 主分類號： | G01N27/27 | 分類號： | G01N27/27;G01N27/333 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 梁揮;徐金國 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 薄膜晶體管 離子 裝置 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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