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[發明專利]具有HMP金屬柵的半導體器件無效

專利信息
申請號: 200410083414.1 申請日: 2004-10-08
公開(公告)號: CN1610115A 公開(公告)日: 2005-04-27
發明(設計)人: 田桑哲也 申請(專利權)人: 爾必達存儲器株式會社
主分類號: H01L27/092 分類號: H01L27/092;H01L29/49;H01L29/78;H01L21/8238;H01L21/283;H01L21/336
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 代理人: 鐘強;樊衛民
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 hmp 金屬 半導體器件
【說明書】:
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