[發明專利]基板清洗系統與方法有效
| 申請號： | 200410082187.0 | 申請日： | 2004-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN1799710A | 公開（公告）日： | 2006-07-12 |
| 發明（設計）人： | 陳政群;盧昱彰;陳興;陳一誠 | 申請（專利權）人： | 財團法人工業技術研究院 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 系統 方法 | ||
【說明書】：
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