[發(fā)明專利]磺酰胺化合物、高分子化合物、抗蝕材料及圖案形成方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410076928.4 | 申請日： | 2004-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN1611490A | 公開（公告）日： | 2005-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 岸村真治;遠藤政孝;屜子勝;上田充;飯森弘和;福原敏明 | 申請（專利權(quán)）人： | 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | C07C311/01 | 分類號： | C07C311/01;C08F28/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 | 代理人： | 楊宏軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 磺酰胺 化合物 高分子化合物 材料 圖案 形成 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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