[發明專利]紫外激光寫入制備高折射率差二氧化硅波導的方法無效
| 申請號： | 200410073862.3 | 申請日： | 2004-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN1746705A | 公開（公告）日： | 2006-03-15 |
| 發明（設計）人： | 夏君磊;吳遠大;安俊明;郜定山;李健;龔春娟;胡雄偉 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G02B6/02 | 分類號： | G02B6/02;G02B6/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外 激光 寫入 制備 折射率 二氧化硅 波導 方法 | ||
【說明書】：
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