[發(fā)明專利]用于低K介電材料的包括回蝕的鑲嵌互連結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410070537.1 | 申請日： | 2004-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN1638089A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | A·K·斯坦帕;E·C·庫尼三世;J·P·甘比諾;T·J·達(dá)爾頓;J·A·菲茲賽蒙斯;L·M·尼科爾森 | 申請（專利權(quán)）人： | 國際商業(yè)機(jī)器公司 |
| 主分類號： | H01L21/768 | 分類號： | H01L21/768;H01L21/31;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務(wù)所 | 代理人： | 于靜;李崢 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 材料 包括 鑲嵌 互連 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
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H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
