[發明專利]半導體制造設備狀態值感測的系統及方法無效
| 申請號： | 200410069752.X | 申請日： | 2004-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN1578315A | 公開（公告）日： | 2005-02-09 |
| 發明（設計）人： | 李玉堂;林春慶 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H04L29/06 | 分類號： | H04L29/06;G08C17/02;G08C19/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 臺灣省新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 制造 設備 狀態 值感測 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
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