[發明專利]制造設備有效
| 申請號： | 200410069433.9 | 申請日： | 2004-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN1578549A | 公開（公告）日： | 2005-02-09 |
| 發明（設計）人： | 坂田淳一郎 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | H05B33/10 | 分類號： | H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥凌 |
| 地址： | 日本神奈*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 設備 | ||
【權利要求書】：
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