[發明專利]微芯片及其制造方法以及使用微芯片的檢查方法無效
| 申請號： | 200410068301.4 | 申請日： | 2004-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN1591012A | 公開（公告）日： | 2005-03-09 |
| 發明（設計）人： | 美濃規央 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | G01N33/50 | 分類號： | G01N33/50;G01N33/00;C03C17/30;G01N35/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 芯片 及其 制造 方法 以及 使用 檢查 | ||
【說明書】：
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