[發明專利]校正光刻工藝的方法以及疊合記號的形成方法無效
| 申請號： | 200410068274.0 | 申請日： | 2004-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN1740912A | 公開（公告）日： | 2006-03-01 |
| 發明（設計）人： | 陳泰原 | 申請（專利權）人： | 茂德科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波;侯宇 |
| 地址： | 臺灣省新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 校正 光刻 工藝 方法 以及 疊合 記號 形成 | ||
【說明書】：
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