[發明專利]一種無損檢測磷化銦與砷化鎵基材料直接鍵合質量的方法無效
| 申請號： | 200410067985.6 | 申請日： | 2004-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN1603795A | 公開（公告）日： | 2005-04-06 |
| 發明（設計）人： | 勞燕鋒;吳惠楨;封松林;齊鳴 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01N21/35 | 分類號： | G01N21/35;G01N31/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 無損 檢測 磷化 砷化鎵 基材 直接 質量 方法 | ||
【權利要求書】：
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