[發(fā)明專利]一種金屬前接觸孔清洗工藝無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410067832.1 | 申請日： | 2004-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN1603470A | 公開（公告）日： | 2005-04-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 繆炳有;康曉旭 | 申請（專利權）人： | 上海華虹(集團)有限公司;上海集成電路研發(fā)中心有限公司 |
| 主分類號： | C23G1/02 | 分類號： | C23G1/02;C23G1/14;C23G1/24 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 | 代理人： | 滕懷流;陶金龍 |
| 地址： | 200020上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 接觸 清洗 工藝 | ||
【說明書】：
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