[發(fā)明專利]紫外發(fā)射增強(qiáng)的氧化鋅薄膜的制備方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200410067128.6 | 申請(qǐng)日: | 2004-10-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN1600896A | 公開(公告)日: | 2005-03-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 洪瑞金;賀洪波;范正修;邵建達(dá) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào): | C23C14/35 | 分類號(hào): | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人: | 張澤純 |
| 地址: | 201800上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 紫外 發(fā)射 增強(qiáng) 氧化鋅 薄膜 制備 方法 | ||
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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