[發(fā)明專利]一種待測物表面輪廓分析方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410064108.3 | 申請日： | 2004-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN1737494A | 公開（公告）日： | 2006-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 許華珍;童啟弘;高清芬;張中柱 | 申請（專利權(quán)）人： | 財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B9/023 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 待測物 表面 輪廓 分析 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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