[發明專利]圖案形成法和光學元件無效
| 申請號： | 200410064064.4 | 申請日： | 2004-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN1598695A | 公開（公告）日： | 2005-03-23 |
| 發明（設計）人： | 花村政曉;白木真司;熊野厚司 | 申請（專利權）人： | JSR株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00;G02B6/00;G02B3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭煜;龐立志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 光學 元件 | ||
【權利要求書】：
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