[發明專利]半導體薄膜、薄膜晶體管、及其制造方法和制造設備無效
| 申請號： | 200410063906.4 | 申請日： | 2004-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN1550863A | 公開（公告）日： | 2004-12-01 |
| 發明（設計）人： | 田邊浩 | 申請（專利權）人： | 日本電氣株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/136 | 分類號： | G02F1/136;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吳立明;陳景峻 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 薄膜 薄膜晶體管 及其 制造 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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