[發明專利]批量生產移交支持系統及半導體制造系統無效
| 申請號： | 200410061528.6 | 申請日： | 2004-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN1637756A | 公開（公告）日： | 2005-07-13 |
| 發明（設計）人： | 秋森裕之;大山泰;西村英孝;小林秀 | 申請（專利權）人： | 半導體先端科技株式會社 |
| 主分類號： | G06F17/60 | 分類號： | G06F17/60 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉宗杰;葉愷東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 批量 生產 移交 支持系統 半導體 制造 系統 | ||
【權利要求書】：
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