[發明專利]無掩模微成影中用時間和/或功率調制獲得劑量灰度化無效
| 申請號： | 200410058823.6 | 申請日： | 2004-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN1580958A | 公開（公告）日： | 2005-02-16 |
| 發明（設計）人： | 溫賽斯勞·A.·賽布哈;賈森·D.·星特斯坦納;艾扎特·拉迪普夫;杰拉爾德·沃爾皮 | 申請（專利權）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 付建軍 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 無掩模微成影 中用 時間 功率 調制 獲得 劑量 灰度 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于ASML控股股份有限公司，未經ASML控股股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200410058823.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：12面體揚聲器系統
- 下一篇：一種有機電致磷光器件及其制備方法
