[發明專利]具有測量圖案的半導體器件及其測量方法有效
| 申請號： | 200410055216.4 | 申請日： | 2004-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN1574341A | 公開（公告）日： | 2005-02-02 |
| 發明（設計）人： | 樸翔煜;侑在珉;權喆純;金鎮宇;樸在鉉;金龍希;李燉雨;金大根;金周燦;金國珉;柳義烈 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 李曉舒;魏曉剛 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 測量 圖案 半導體器件 及其 測量方法 | ||
【權利要求書】：
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