[發(fā)明專利]拋光整理器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410054225.1 | 申請日： | 2004-09-02 |
| 公開（公告）號： | CN1743133A | 公開（公告）日： | 2006-03-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉圣剛;黃文忠 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/02 | 分類號： | B24B53/02 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201203上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 整理 | ||
【說明書】：
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