[發明專利]采用硅支撐梁的紅外熱電堆探測器陣列結構及制作方法有效
| 申請號： | 200410053913.6 | 申請日： | 2004-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN1588661A | 公開（公告）日： | 2005-03-02 |
| 發明（設計）人： | 李鐵;王翊;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | H01L35/00 | 分類號： | H01L35/00;G01J1/02;G01J5/10;H01L31/09 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 支撐 紅外 熱電 探測器 陣列 結構 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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