[發明專利]射頻器件產品的通孔刻蝕方法有效
| 申請號： | 200410053418.5 | 申請日： | 2004-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN1731286A | 公開（公告）日： | 2006-02-08 |
| 發明（設計）人： | 呂煜坤 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 | 代理人： | 丁紀鐵 |
| 地址： | 201206*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 射頻 器件 產品 刻蝕 方法 | ||
【說明書】：
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