[發明專利]MOS器件熱載流子注入效應測量方法無效
| 申請號： | 200410051148.4 | 申請日： | 2004-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN1588104A | 公開（公告）日： | 2005-03-02 |
| 發明（設計）人： | 章曉文 | 申請（專利權）人： | 信息產業部電子第五研究所 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 | 代理人： | 溫旭 |
| 地址： | 510610廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mos 器件 載流子 注入 效應 測量方法 | ||
【權利要求書】：
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