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[發明專利]噴墨打印制備二氧化錫基薄膜型氣敏器件的方法無效

專利信息
申請號: 200410050389.7 申請日: 2004-09-10
公開(公告)號: CN1747194A 公開(公告)日: 2006-03-15
發明(設計)人: 趙巖;沈文鋒;郝傳勇 申請(專利權)人: 中國科學院金屬研究所
主分類號: H01L49/00 分類號: H01L49/00;H01L29/00;H01L21/00;G01N27/12
代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人: 張志偉
地址: 110016遼*** 國省代碼: 遼寧;21
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摘要:
搜索關鍵詞: 噴墨 打印 制備 氧化 薄膜 型氣敏 器件 方法
【權利要求書】:
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