[發明專利]曝光裝置的曝光方法無效
| 申請號： | 200410048823.8 | 申請日： | 2004-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN1573569A | 公開（公告）日： | 2005-02-02 |
| 發明（設計）人： | 屋木康彥;藪慎太郎;氏益稔 | 申請（專利權）人： | 株式會社ORC制作所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 權鮮枝 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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