[發(fā)明專(zhuān)利]用于化學(xué)機(jī)械拋光的漿料、拋光方法及半導(dǎo)體器件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200410048782.2
• 申請(qǐng)日: 2004-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1574238A
• 公開(kāi)（公告）日: 2005-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 南幅學(xué);松井之輝;矢野博之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社東芝
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/304;C09K3/14;B24B1/00;B24B37/04;H01L21/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所
• 代理人: 林柏楠;黃革生