[發(fā)明專利]用于投影曝光的裝置和方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200410045552.0 | 申請(qǐng)日： | 2004-05-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1573406A | 公開(kāi)（公告）日： | 2005-02-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 百瀨克已;山賀勝;松永真一 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社ORC制作所 |
| 主分類號(hào)： | G02B15/16 | 分類號(hào)： | G02B15/16;G02B13/22;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 黨曉林 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 投影 曝光 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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G02 光學(xué)
G02B 光學(xué)元件、系統(tǒng)或儀器
G02B15-00 具有改變放大率裝置的光學(xué)物鏡
G02B15-02 .通過(guò)改變、加入或減去物鏡的一部分，例如，可變換的物鏡
G02B15-14 .利用一個(gè)透鏡或多個(gè)透鏡或透鏡組相對(duì)于成像平面作軸向移動(dòng)，以便連續(xù)改變物鏡的等效焦距
G02B15-15 ..僅以一種移動(dòng)或僅以線性的相對(duì)移動(dòng)的補(bǔ)償，例如，光學(xué)補(bǔ)償
G02B15-16 ..具有在一種透鏡或透鏡組和另一個(gè)透鏡或透鏡組之間的相互影響的非線性相對(duì)移動(dòng)的
G02B15-22 ..有可移動(dòng)的特別適用于近距離聚焦的透鏡裝置的
G02B 光學(xué)元件、系統(tǒng)或儀器
G02B15-00 具有改變放大率裝置的光學(xué)物鏡
G02B15-02 .通過(guò)改變、加入或減去物鏡的一部分，例如，可變換的物鏡
G02B15-14 .利用一個(gè)透鏡或多個(gè)透鏡或透鏡組相對(duì)于成像平面作軸向移動(dòng)，以便連續(xù)改變物鏡的等效焦距
G02B15-15 ..僅以一種移動(dòng)或僅以線性的相對(duì)移動(dòng)的補(bǔ)償，例如，光學(xué)補(bǔ)償
G02B15-16 ..具有在一種透鏡或透鏡組和另一個(gè)透鏡或透鏡組之間的相互影響的非線性相對(duì)移動(dòng)的
G02B15-22 ..有可移動(dòng)的特別適用于近距離聚焦的透鏡裝置的
