[發(fā)明專利]納米二氧化硅的化學(xué)氣相沉積制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410041264.8 | 申請日： | 2004-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN1590292A | 公開（公告）日： | 2005-03-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 文建湘;陳明清;劉曉亞;楊成;倪忠兵 | 申請（專利權(quán)）人： | 江南大學(xué) |
| 主分類號： | C01B33/113 | 分類號： | C01B33/113;C01B33/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 納米 二氧化硅 化學(xué) 沉積 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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