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[發(fā)明專利]利用溫度變化監(jiān)測液氮流速的方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200410039662.6 申請日: 2004-03-12
公開(公告)號: CN1667369A 公開(公告)日: 2005-09-14
發(fā)明(設(shè)計)人: 孫永偉 申請(專利權(quán))人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
主分類號: G01F1/688 分類號: G01F1/688
代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人: 湯保平
地址: 100083北*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 利用 溫度 變化 監(jiān)測 液氮 流速 方法
【說明書】:
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