[發(fā)明專利]測量激光器芯片用的夾具及制作方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410033308.2 | 申請日： | 2004-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN1677773A | 公開（公告）日： | 2005-10-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張勝利;孫建華;祝寧華 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號： | H01S5/00 | 分類號： | H01S5/00;H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測量 激光器 芯片 夾具 制作方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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