[發明專利]薄膜晶體管基板及制造方法有效
| 申請號： | 200410028643.3 | 申請日： | 2004-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN1560921A | 公開（公告）日： | 2005-01-05 |
| 發明（設計）人： | 陳慧昌;李俊右;周詩頻 | 申請（專利權）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/48 | 分類號： | H01L23/48;H01L23/12;H01L21/60;H01L21/28 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所 | 代理人： | 陳亮 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜晶體管 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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