[發明專利]曝光裝置和象差校正方法無效
| 申請號： | 200410028478.1 | 申請日： | 2004-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN1530753A | 公開（公告）日： | 2004-09-22 |
| 發明（設計）人： | 岡田芳幸 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 象差 校正 方法 | ||
【說明書】：
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