[發明專利]用于拋光墊窗口的抗反射層有效
| 申請號： | 200410028320.4 | 申請日： | 2004-02-03 |
| 公開（公告）號： | CN1530205A | 公開（公告）日： | 2004-09-22 |
| 發明（設計）人： | 約翰·V·H·羅伯茨 | 申請（專利權）人： | 羅德爾控股公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B49/12;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 何騰云 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 拋光 窗口 反射層 | ||
【權利要求書】：
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