[發(fā)明專利]一種TiOxNy高效太陽能光熱轉(zhuǎn)換薄膜的制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410028010.2 | 申請日： | 2004-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN1594644A | 公開（公告）日： | 2005-03-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 林洪;沈輝;汪保衛(wèi);陳達 | 申請（專利權）人： | 廣州粵海真空技術有限公司;中國科學院廣州能源研究所 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 廣州知友專利代理有限公司 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 510070廣東省廣州市先*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 tioxny 高效 太陽能 光熱 轉(zhuǎn)換 薄膜 制備 方法 | ||
【說明書】：
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
