[發明專利]紫外線清洗裝置無效
| 申請號： | 200410025023.4 | 申請日： | 2004-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN1706566A | 公開（公告）日： | 2005-12-14 |
| 發明（設計）人： | 王國征 | 申請（專利權）人： | 上海國達特殊光源有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利事務所 | 代理人： | 翟羽;張樹屏 |
| 地址： | 201100上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外線 清洗 裝置 | ||
【說明書】：
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