[發明專利]鎢酸鋅濕度傳感器件的制造方法無效
| 申請號： | 200410017966.2 | 申請日： | 2004-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN1571184A | 公開（公告）日： | 2005-01-26 |
| 發明（設計）人： | 焦正;吳明紅;顧建忠;李珍;王艷麗 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | H01L49/00 | 分類號： | H01L49/00;G01N25/60 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所 | 代理人： | 顧勇華 |
| 地址： | 200072*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鎢酸鋅 濕度 傳感 器件 制造 方法 | ||
【說明書】：
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