[發明專利]用衍射儀測量等周期多層膜膜厚隨機變化量的方法無效
| 申請號： | 200410011282.1 | 申請日： | 2004-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN1727842A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | 楊雄;姚志華;張立超;金衛華;金春水 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 130031吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 衍射 測量 周期 多層 膜膜厚 隨機 變化 方法 | ||
【說明書】：
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