[發明專利]采用全息光學元件的激光干涉光刻方法及其光刻系統無效
| 申請號： | 200410009038.1 | 申請日： | 2004-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN1690857A | 公開（公告）日： | 2005-11-02 |
| 發明（設計）人： | 張錦;馮伯儒 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;B23K26/00;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 劉秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 全息 光學 元件 激光 干涉 光刻 方法 及其 系統 | ||
【權利要求書】：
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