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[發(fā)明專利]半導體裝置及其制造方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200410008644.1 申請日: 2004-03-12
公開(公告)號: CN1531110A 公開(公告)日: 2004-09-22
發(fā)明(設計)人: 芳賀泰;濱宗佳 申請(專利權)人: 精工愛普生株式會社
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336
代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 代理人: 余剛
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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