[發明專利]MEMS器件以及形成MEMS器件的方法有效
| 申請號： | 200410007402.0 | 申請日： | 2004-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN1572719A | 公開（公告）日： | 2005-02-02 |
| 發明（設計）人： | E·L·尼科爾;M·斯澤佩斯;S·本加利;M·G·蒙羅伊;S·J·波托尼克 | 申請（專利權）人： | 惠普開發有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B5/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吳立明;梁永 |
| 地址： | 美國德*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 器件 以及 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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