[發明專利]在研磨工藝期間離子轟擊電研磨指示體以減小噪聲無效
| 申請號： | 200410007296.6 | 申請日： | 2004-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN1535796A | 公開（公告）日： | 2004-10-13 |
| 發明（設計）人： | 馬克·A.·丘奇;維普爾·P.·加亞塞卡拉;霍華德·G.·左拉 | 申請（專利權）人： | 日立環球儲存科技荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/302;B24B1/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 荷蘭阿*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 工藝 期間 離子 轟擊 指示 減小 噪聲 | ||
【權利要求書】：
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