[發明專利]利用密相氣體和聲波處理基片的基片處理設備無效
| 申請號： | 200380108216.X | 申請日： | 2003-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN1735467A | 公開（公告）日： | 2006-02-15 |
| 發明（設計）人： | 吉爾·辛吉;凡瑟特·帕魯特;凡瑟特·魯斯;吉勒斯·佛瑞斯庫特 | 申請（專利權）人： | 雷瑟夫公司;科技音速公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 顧峻峰 |
| 地址： | 法國*** | 國省代碼： | 法國;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 氣體 聲波 處理 設備 | ||
【說明書】：
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