[發(fā)明專利]集成電路接觸缺陷的測試方法和測試裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200380102564.6 | 申請日： | 2003-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN1714295A | 公開（公告）日： | 2005-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 理查德·約翰·佩曼 | 申請（專利權(quán)）人： | 艾羅弗萊克斯國際有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/04 | 分類號： | G01R31/04;G01R27/20 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李輝 |
| 地址： | 英國斯*** | 國省代碼： | 英國;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 接觸 缺陷 測試 方法 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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