[發明專利]電氣制造控制的概率約束優化有效
| 申請號： | 200380102331.6 | 申請日： | 2003-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN1708737A | 公開（公告）日： | 2005-12-14 |
| 發明（設計）人： | R·P·古德;G·A·謝里;J·王 | 申請（專利權）人： | 先進微裝置公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418;H01L21/66;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程偉 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電氣 制造 控制 概率 約束 優化 | ||
【權利要求書】：
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