[發明專利]用于發光顯微鏡查找芯片缺陷的芯片固定裝置有效
| 申請號： | 200310122969.8 | 申請日： | 2003-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN1635364A | 公開（公告）日： | 2005-07-06 |
| 發明（設計）人： | 董偉淳;廖炳隆;季春葵;牛崇實 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 發光 顯微鏡 查找 芯片 缺陷 固定 裝置 | ||
【權利要求書】：
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